Азот-високої чистоти використовується як захисний газ і газ-носій у виробництві інтегральних схем, напівпровідників і вакуумних електронних пристроїв; він служить газом-носієм при хімічному осадженні з парової фази; переносить газ у рідинних дифузійних джерелах; і він діє як захисний газ для пристроїв у високо-дифузійних печах.
Азот-високої чистоти використовується як газ для витіснення, сушіння, зберігання та транспортування в таких процесах, як епітаксія, фотолітографія, очищення та випаровування. Для виробництва електронно-променевих трубок потрібна чистота азоту 99,99% або вище. В аерокосмічній техніці системи заправки рідким воднем потрібно спочатку продути -азотом високої чистоти, а потім — гелієм-високої чистоти.
У грудні 2025 року Державна адміністрація з регулювання ринку схвалила та випустила національний стандарт матеріалу для азоту високої-чистоти, який використовується в ключових процесах, таких як очищення, травлення та осадження у виробництві напівпровідникових пристроїв, а також у таких процесах, як фотолітографія, іонна імплантація та окислення у виробництві інтегральних схем.